無塵室隔間「不攜入」技術

2014-02-06
無塵室隔間工作人員產生的污染--
1)皮膚:人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換,人類每分鐘脫落約1000片皮膚(平均大小為30*60*3微米)
2)頭髮:人類的頭髮(直徑約為50~100微米)一直在脫落。
3)口水:包括鈉、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4)日常衣物:微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學品和細菌。
5)人類靜止和坐立每分鐘將產生10000個大於0.3微米的微粒。
6)人類在頭部和軀幹做動作時每分鐘將產生1000000個大於0.3微米的微粒。
7)人類以0.9m/s的速度行走時每分鐘將產生5000000個大於0.3微米的微粒。

若能徹底實施無塵室隔間「不攜入」技術,無塵室隔間內的潔凈度就可以維持。但現實中人和物品的頻繁出入及製造機台的掣動,在廣大的無塵室內要有完全潔凈度是不可能的。因此「不儲備」技術快速地在過濾器中應用以除去已發生的微粒子變得非常重要。通常已發生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子污染的危險性。