無塵室隔間等級
無塵室隔間複合式（Mixed Type)
氣流是控制潔凈度與溫濕度的最主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風速測量，都是放在無塵室測試的第一步。風速測量的目的，是確認濾網送出的氣流滿足設計規範，其次是確認氣流的均勻度。在某些場合可能因現場的限制，室內換氣量還必須用風速乘以出口面積來換算。均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發生渦流作用。
無塵室隔間複合式為將亂流式及層流式予以複合或並用，可提供局部超潔凈之空氣。
潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將製程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。
此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI製程大都採用此種型式。
並裝局部無塵室（Clean Spot）：將無塵室隔間等級10,000~100,000之亂流無塵室內之產品製程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；潔凈工作台、潔凈工作棚、潔凈風櫃即屬此類。