無塵室隔間主要作用
2014-02-06
無塵室隔間專用模組化庫板系統,可有效的將不同無塵等級的工作環境隔離開來,進而節省空調設備的購置及運轉成本的特性,同時可配合無塵室相關設備的施作,如空氣浴塵器(Air Shower),傳遞箱(PassBox),消防弱電設備及自動化傳輸帶等搬運設備。
無塵室隔間最主要之作用在於控制產品(如硅晶元等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造,此空間我們稱之為無塵室。
無塵室隔間的等級
等級的定義模式如下:
Class x ( Y μ m )
其中 x 是無塵室的等級,例如 100 或 10000 等,Y 是粒徑如 0.2 μ m , 0.5 μ m 等。
使用者規定該無塵室微粒含量,在這些粒徑必須滿足該等級的限度。
例如:
Class ( 0.1 μ m , 0.2 μ m , 0.5 μ m )
Class 100 ( 0.2 μ m , 0.5 μ m )
Class 100 ( 0.1 μ m , 0.2 μ m , 0.5 μ m )