無塵室隔間潔凈度
2014-02-06
無塵室隔間在控制最大污染源--人在無塵室內的微粒子發塵量的同時，也應控制第二大污染源—製造機台的發塵量。因物品在移動時，所產生的摩擦及接觸剝離會造成發塵，而物品在移動時也會有微粒子的發生。故為了控制發塵量達到最小限度應採取以下對策：
無塵室隔間的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建築結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。
減少接觸剝離發塵的動作形態；
採用磨耗發塵小的材質；
採用發塵小的潤滑油；
機台應用空壓浮上的非接觸化工作原理。
無塵室隔間的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建築結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。
無塵室隔間系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分乾淨。然而無塵室內除了人以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。
無塵室隔間最主要之作用在於控制產品（如硅晶元等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產
無塵室隔間最主要之作用在於控制產品（如硅晶元等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產