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活動辦公室無菌室工廠隔間內微粒子
在活動辦公室無菌室工廠隔間無塵室內的浮遊微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產現場由於作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等，在製造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。
活動辦公室無菌室工廠隔間無塵室內該如何防止微粒子污染呢？
應遵守下列四項基本原則：
應遵守下列四項基本原則：
1）不攜入
2）不發生
3）不儲備
4）排除/除去
活動辦公室無菌室工廠隔間垂直層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出面的風速不可有速度上的差異；（b）地板迴風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現象發生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前（21世紀80、90年代）一般無塵室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。影響無塵室的氣流因素很多，如製程設備、人員、無塵室組裝材、照明器具等，同時對於生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。
活動辦公室無菌室工廠隔間垂直層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出面的風速不可有速度上的差異；（b）地板迴風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現象發生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前（21世紀80、90年代）一般無塵室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。影響無塵室的氣流因素很多，如製程設備、人員、無塵室組裝材、照明器具等，同時對於生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。
