活動辦公室無菌室工廠隔間內微粒子

活動辦公室無菌室工廠隔間內微粒子

活動辦公室無菌室工廠隔間無塵室內的浮遊微粒子濃度,使用高性能的過濾器即可容易達到零水平,實際的生產現場由於作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等,在製造品周邊揚起了少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染。

活動辦公室無菌室工廠隔間無塵室內該如何防止微粒子污染呢?
應遵守下列四項基本原則:
  1)不攜入   
  2)不發生  
  3)不儲備  
  4)排除/除去

活動辦公室無菌室工廠隔間垂直層流式方向要保持均一氣流必須:(a)吹出面的風速不可有速度上的差異;(b)地板迴風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現象發生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,目前(21世紀80、90年代)一般無塵室,其風速均取在0.25~0.5m/s之間。影響無塵室的氣流因素很多,如製程設備、人員、無塵室組裝材、照明器具等,同時對於生產設備上方氣流的分流點,亦應列入考慮因素。